Les capteurs de pesée miniatures sont des appareils de mesure de force-de précision développés sur la base de la technologie des systèmes microélectromécaniques (MEMS). Appartenant à la catégorie des dispositifs microélectromécaniques, leur taille peut être réduite à quelques millimètres, et leur poids à quelques grammes seulement. Ils réalisent principalement des mesures en générant des signaux électriques via la déformation mécanique d'un diaphragme miniature. Leur composant principal est une jauge de contrainte MEMS, qui est fusionnée avec un substrat en acier inoxydable et du verre à haute température-à l'aide d'une technologie de pointe.
Cet équipement comprend des types tels que des capteurs de pression miniatures et des accéléromètres miniatures, dotés d'une sensibilité élevée à faible-contrainte, d'un fonctionnement hors plage-et d'un-module de compensation thermique intégré. La technologie d'emballage composite peut contrôler la dérive de température à ±0,005 %/degré. Ses applications se sont étendues aux appareils portables intelligents, à l'électronique grand public, aux systèmes d'entraînement de panneaux solaires par satellite, aux systèmes de retour de force articulaire des robots chirurgicaux, à la surveillance de la pression gastro-intestinale avalable, à l'entreposage intelligent IoT et aux systèmes d'alerte précoce d'emballement thermique pour les batteries de véhicules à énergie nouvelle.