Le développement de capteurs de pesée miniatures est étroitement lié aux progrès de la technologie MEMS (Micro-Electro-Systèmes mécaniques). La technologie MEMS permet aux capteurs d'être miniaturisés à quelques millimètres et de ne peser que quelques grammes, ce qui permet leur intégration dans des appareils portables intelligents (tels que les fonctions de surveillance du poids des montres intelligentes) et dans l'électronique grand public (tels que les boutons sensibles à la pression des smartphones), élargissant ainsi les limites des applications des capteurs de pesée.
La principale avancée technologique réside dans l’optimisation à l’échelle nanométrique des éléments de détection piézorésistifs à semi-conducteurs. Grâce aux processus d'implantation ionique et de-dépôt de couches minces, une détection de haute-précision de 0,01 % est obtenue. La technologie d'emballage composite utilise une structure à double couche de silicone-métal-, offrant une protection contre l'humidité et la poussière tout en contrôlant la dérive de température à ±0,005 %/degré. Des conceptions innovantes continuent d’émerger, notamment des capteurs à substrat flexible et des solutions d’induction électromagnétique.
Dans les systèmes d'entraînement de panneaux solaires par satellite, les capteurs de pesée miniatures obtiennent des mesures précises au niveau de 0,1 N·m, avec une dérive nulle inférieure à 0,01 % FS dans un environnement sous vide, garantissant un déploiement fluide et précis des panneaux solaires. Dans le domaine des dispositifs médicaux, des capteurs miniatures ont été appliqués avec succès aux systèmes de retour de force articulaire des robots chirurgicaux, améliorant ainsi la précision opérationnelle jusqu'au niveau inférieur au micron-.